半導体向けの水素需要量予測と想定需要家について

＜半導体製造における水素の必要性＞半導体製造では、微細な不純物があるだけでも回路に損傷が起こり、性能が低下する等の致命的な問題が発生します。 そのため、残留物を洗い流す工程が必要になりますが、ここで洗浄液の役割を担うのがフッ化水素です。 集積度が日増しに高まる半導体工程の特性を考えると、不良率を最小限に抑えるには、超高純度のフッ化水素が必要です。

１.日本における半導体製造に関わる水素の現状

日本の水素産業は世界をリードしており、2兆円のグリーンイノベーション基金を活用